ST-21H型方塊電阻測試儀是一種依照類似的國家標準和美國A.S.T.M標準，專門測量半導體薄層電阻（表面電阻）的新型儀器，可用于測量一般半導體材料、導電薄膜（ITO透明氧化膜），金屬薄膜……等同類物質的薄層電阻。

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